자료유형  

 단행본

 

85003255

ISBN  

0471869600

언어부호  

본문언어 - engjpn

미국회청구기호  

TK7871.85-.H34713 1985

DDC  

621.381/73-19

통일서명  

Hand?tai purazuma purosesu gijutsu.. English

서명/저자  

Applications of plasma processes to VLSI technology : edited by Takuo Sugano ; translated by Hyo-gun Kim

발행사항  

New York : Wiley, c1985.

형태사항  

xiv, 394 p. : ill. ; 24 cm.

주기사항  

Translation of: Hand?tai purazuma purosesu gijutsu.

주기사항  

"A Wiley-Interscience publication."

주기사항  

Includes index.

서지주기  

Bibliography: p. 369-389.

일반주제명  

Semiconductors Etching.

일반주제명  

Integrated circuits Very large scale integration Design and construction.

일반주제명  

Plasma etching.

일반주제명  

Vapor-plating.

기타저자  

Sugano, Takuo, , 1931-

청구기호  

621.38173 S947A

Control Number  

ydul:24407